為了實(shí)現(xiàn)冷熱臺(tái)的真空?氣氛的準(zhǔn)確控制?提出了相應(yīng)的解決方案?
針對(duì)這個(gè)問(wèn)題?本解決方案采用以下兩種獨(dú)立的技術(shù)實(shí)現(xiàn)真空壓力和氣氛的精確控制￤
(1)真空壓力控制￤采用動(dòng)態(tài)平衡法技術(shù)?通過(guò)控制進(jìn)入和排出測(cè)試腔體的氣體流量?使進(jìn)氣和排氣流量達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡從而實(shí)現(xiàn)寬域范圍內(nèi)任意設(shè)定真空壓力的準(zhǔn)確恒定控制?
(2)氣氛控制￤采用氣體質(zhì)量流量控制技術(shù)?分別控制多種工作氣體的流量?由此來(lái)實(shí)現(xiàn)環(huán)境氣體中的混合比?
本解決方案能夠有效地解決顯微鏡探針冷熱臺(tái)的真空壓力控制問(wèn)題?具備高度的控制精度和自動(dòng)化能力。此外?該方案還具有以下特點(diǎn)￤
(1)本解決方案具有很強(qiáng)的適用性和擴(kuò)展性?只需調(diào)整相關(guān)部件參數(shù)即可適應(yīng)不同范圍的真空壓力需求。此外?通過(guò)在進(jìn)氣口增加微小流量可變泄漏閥?還可以實(shí)現(xiàn)各級(jí)超高真空度的精密控制?
(2)本解決方案所采用的控制器還可應(yīng)用于冷熱臺(tái)的溫度控制?例如帕爾貼式TEC半導(dǎo)體加熱制冷裝置的溫度控制?液氮溫度的低溫控制等?
(3)解決方案中的控制器內(nèi)置計(jì)算機(jī)軟件?可直接通過(guò)計(jì)算機(jī)屏幕操作進(jìn)行整個(gè)控制系統(tǒng)的調(diào)試和運(yùn)行?？刂七^(guò)程中的各種過(guò)程參數(shù)變化曲線會(huì)自動(dòng)存儲(chǔ)?可快速搭建起控制系統(tǒng)?極大地方便了微觀分析和測(cè)試研究?
然而?在目前的冷熱臺(tái)環(huán)境控制方面?仍然存在微小空間內(nèi)濕度環(huán)境高精度控制的難題?這將是未來(lái)研究和開(kāi)發(fā)的方向之一?
