探針臺工作原理：通過其精細(xì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計和控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對樣品的準(zhǔn)確測量和分析。
1.定位：通過樣品臺精確定位待測物（晶圓、芯片等）；
2.視覺輔助：利用光學(xué)元件放大觀察，確保探針精確對準(zhǔn)測量點；
3.固定待測物：使用卡盤固定晶圓或芯片，可能采用夾具或真空吸附；
4.探針控制：通過電磁或壓電裝置精確控制，探針在樣品表面的移動和定位；
5.信號采集：內(nèi)置傳感器實時記錄探針與樣品相互作用產(chǎn)生的信號；
6.數(shù)據(jù)處理：對采集的信號進(jìn)行處理，分析得到樣品的形貌和性能信息；
7.自動化測試：手動、半自動或全自動探針臺系統(tǒng)完成測試流程。
